欧美精品一区二,网站黄久久久久,中文字幕不卡免费一区,欧美电影 日韩在线 亚洲电影

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  3D形貌儀/白光干涉輪廓儀  >  晶圓形貌和參數(shù)檢測  >  PLS-F1000晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機

晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機

簡要描述:晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括:包括 TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sag, LTV (Fullmap 測試)。

  • 產(chǎn)品型號:PLS-F1000
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 4532

詳細介紹

一、設(shè)備簡介

1、應(yīng)用范圍

晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現(xiàn)的尺寸與結(jié)構(gòu)測量內(nèi)容包括:包括 TTV, Bow, Warp, Thickness, TIR, Sag, LTV (Fullmap 測試)。

2、檢測原理

晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機設(shè)備系統(tǒng)白色光源用于照亮零件表面。如圖所示,光通過光纖從控制單元傳輸?shù)焦鈱W(xué)傳感器,該傳感器根據(jù)波長將光分為不同的焦距。根據(jù)反射光的波長,進行納米級高精度距離測量。光學(xué)傳感器性能決定測量范圍。由于探頭的高數(shù)值孔徑和光學(xué)傳感器的動態(tài)范圍,可以在多種材料上進行測量。檢測原理如圖 1-1 所示。通過將上下探頭間的標(biāo)準塊進行手次厚度校準后,就可以進行厚度測量。

3、光譜共焦測量原理

光譜共焦測量原理

二、設(shè)備規(guī)格

1、整體基本結(jié)構(gòu)

測控系統(tǒng)的硬件由高精度 X-Y 運動平臺、晶圓機械手、數(shù)據(jù)獲取與檢測模組、檢測控制系統(tǒng)以及自動上下料系統(tǒng)組成。

PLS-F1000設(shè)備外觀圖

PLS-F1000設(shè)備外觀圖

2、基本技術(shù)規(guī)格說明:

設(shè)備基本技術(shù)規(guī)格

部    件

規(guī)    格

對射式光譜共焦檢測系統(tǒng)

l  兩個光譜共焦傳感器

l  橫向分辨率 4um

l  分辨率 3nm

l  蕞大采樣頻率 10kHz

X-Y 自動運動平臺

l  定制水平載物臺,蕞大 350mm*350mm

l  平臺平整度 <   1.5μm/100mm

l  平臺蕞大移動速度 > 100mm/s

l  支持 4-8 寸的載具平臺,可替換的 12 寸載具平臺

自動上下料與分選系統(tǒng)

l  高速晶圓機器人上下料系統(tǒng)

l  2 2 cassettes 結(jié)構(gòu)(Open Cassettes)

計算機系統(tǒng)

l  定制檢測軟件系統(tǒng),包含數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng),支持

PDF 報告和 Excel 報告導(dǎo)出

l  帶通訊端口對接MES 系統(tǒng)或其他數(shù)據(jù)系統(tǒng)

其他

l  使用手冊

l  含安裝調(diào)試和使用培訓(xùn)服務(wù)

3、設(shè)備性能指標(biāo)

以下為設(shè)備的主要性能參數(shù)與指標(biāo):

設(shè)備產(chǎn)能指標(biāo)


十字

米字

Mapping

4 寸

280WPH

240WPH

120WPH

6 寸

240WPH

200WPH

90WPH

8 寸

180WPH

120WPH

60WPH

12 寸

120WPH

80WPH

30WPH


檢測關(guān)鍵指標(biāo)參數(shù)如下:

設(shè)備關(guān)鍵參數(shù)指標(biāo)

項目

關(guān)鍵指標(biāo)參數(shù)

晶圓厚度測試范圍

50um~2500um

厚度 TTV 檢測精度

±0.15um

厚度 TTV 檢測重復(fù)性

σ ≤ 0.2um

Bow/Warp 檢測精度

±0.8um

Bow/Warp 檢測重復(fù)性

σ ≤ 1um

準確性

l  (對標(biāo) FRTBow/Warp 線性 ≥ 90%

l  (對標(biāo) FRTThickness/TTV/TIR 線性 ≥   90%


軟件系統(tǒng)功能

測控系統(tǒng)安裝在 Windows 系統(tǒng)的工業(yè)計算機上,并配置磚用控制軟件。測控系統(tǒng)軟件主要由系統(tǒng)控制模塊(包含定位、校準及自動上下料及分選、晶圓關(guān)鍵尺寸測量模塊和數(shù)據(jù)處理與輸出模塊三部分組成。分為開發(fā)者模式與操作工簡易操作模式兩種。易于現(xiàn)場操作和數(shù)據(jù)結(jié)果獲取。可以根據(jù)需求設(shè)定報警與分選特定方式。


系統(tǒng)功能設(shè)計

功能模塊

功能設(shè)計

系統(tǒng)控制模塊

l     平臺定位控制系統(tǒng);

l     自動上下料操作控制

l     平臺控制與檢測路徑規(guī)劃控制系統(tǒng)

晶圓關(guān)鍵尺寸檢測模塊

l     控制紅外干涉?zhèn)鞲衅鲾?shù)據(jù)校準系統(tǒng)

l     控制傳感器切換 recipe 及其設(shè)定系統(tǒng)

l     晶圓數(shù)據(jù)獲取與預(yù)處理系統(tǒng)

數(shù)據(jù)處理模塊與輸出

l     定制檢測軟件系統(tǒng),包含數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng),支持 PDF 報告Excel 報告導(dǎo)出(可選配打印系統(tǒng))

l     帶通訊端口對接 MES 系統(tǒng)



產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
日韩传媒av| 久久无码国产日本欧美网站| 中文字幕一区二区三区四区五区| 美女av综合| 国产不卡一免费视频| 香蕉伊人AV在线播放| 色色综合网婷婷干| 亚州欧美熟女| 亚洲男同志综合二区视频在线观看| 日韩在线shp| 国产av美国久久| 婷婷五月婷婷在线视频| 亚洲一区二区三区免费看| 国产精品偷乱一区| 美女边视边操b| 九久精品电影| 啪啪啪免费正品| 1插菊花综合网人妻AV| 围产精品久久久| 熟女+一区+二区| 精品福利视频在线观看| 亚洲视频欧美在线| 美女被大鸡吧插出b水视频| 国产精品久久精品毛片| 亚洲av女人天堂| 内射少妇黄色电影| 天天日狠狠操操| 麻豆91美女裸照视频| 视频一区人妻| 内射极品美女在线观看| 国产成人三级| 国产精品久久久久张开腿| 精品国产不卡一区| 蜜臀麻豆av| 国产欧美视频二区精品乱码七糟| 黑人大鸡吧变态影片| 午夜福利在线观看视频免费一区| 男人的天堂一区二区不卡| 中文字幕一区e三区| 色色国精品产色| 91AV在线观看www|